Ag离子注入石英玻璃光学透射率研究

摘要：

用 Mevva离子源,将 Ag离子注入到石英玻璃中形成纳米晶粒.离子注入的能量为 90keV, 剂量分别为 5× 1015、1× 1016、3× 1016、5×1016、 1× 1017ions/cm2. X光电子能谱( XPS)分析纳米 Ag 颗粒没有发生化学反应, 说明 Ag仍以金属态形式存在.光学透射率测试表明, 吸收峰的位置在 400nm,当剂量大于 5× 1016 ions/cm2时,发现在 440nm左右有一伴峰.分析表明 400nm的峰来源 于表面等离子体共振吸收,而 440nm的伴峰是注入离子形成了少数非常大的纳米颗粒以及纳米颗 粒之间相互作用引起的.样品退火后, 表面等离子体共振吸收峰红移,而伴峰消失.随着退火的 温度升高,峰位红移越大,说明纳米颗粒尺寸增大.

关键词：离子注入、纳米晶体、光学透射率

所属期刊栏目：9

分类号：TN305.3;TH145.1+1(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：21-24