SOI光电子集成

摘要：

SOI (Silicon- on- Insulator) 光电子集成已成为十分引人注目的研究课题,其工艺与 CMOS 工艺完全兼容,可以实现低成本的 SOI基整片集成光电子回路.本文综述了近几年来 SOI集成光 电子器件的发展以及一些最新的研究进展 , 着重分析几种最新型光无源器件的工作原理和结构, 包括 SOI光波导、 SOI光波导耦合器、 SOI光波导开关、相位阵列波导光栅( PAWG)、基于 SOI的光 探测器等,并介绍了中国科学院半导体所集成光电子国家重点实验室的研究进展.

关键词：SOI、光电子集成电路、光波导、SOI光波导开关、阵列波导光栅、SOI基光探测器

所属期刊栏目：9

分类号：TN305;TN304(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金69896260,69990540;国家重点基础研究发展计划973计划G2000- 03- 66

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1-7