金刚石-硫化锌复合窗口的弹性应变研究

摘要：

对于金刚石-硫化锌复合红外光学窗口,结构中存在的热应力和挠曲度的大小对其可靠性有很大的影响.利用弹性应变模型研究了在光学焊接中不同粘接温度和金刚石厚度下金刚石-硫化锌复合窗口将发生的最大应力、曲率和衬底到边缘的挠曲度.计算结果表明,当膜厚在极值附近时,复合结构明显弯曲、ZnS表面的应力极大;如果粘接温度较高,复合结构将严重变形,ZnS中所受的应力可能会超过其自身的断裂强度.当对金刚石-硫化锌复合红外窗口设计时,了解结构中存在的热应力和挠曲度的大小是很有用的.

关键词：金刚石、红外窗口、光学焊接、弹性、应变

所属期刊栏目：8

分类号：TN304.1+8;O482.2+3(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：378-382