非致冷红外焦平面阵列探测单元的制备

摘要：

采用sol-gel方法制备出BaxSr1-xTiO3(BST)薄膜,并优化工艺提高其介温变化率最大可达6%.通过半导体光刻工艺,刻蚀出BST探测单元,较好的解决了UFPA技术中的探测单元制备问题.设计了初级信号处理电路,并用Protel进行了电路模拟,所得信号可以应用于进一步的信号处理.

关键词：sol-gel、BaxSr1-xTiO3 薄膜、UFPA、介电常数

所属期刊栏目：8

分类号：TN304(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：369-372