微电机中转子和衬底间的微磨擦参数的提取

摘要：

为了分析微电机的动力学特性,提出了一种微磨擦参数提取的人工神经网络模型.通过该模型可以方便地得到指定加工工艺的微电机的微磨擦系数.仿真结果与实测数据比较表明,模拟结果与实测数据基本一致.

关键词：微电机、微磨擦、人工神经网络、微电机仿真系统

所属期刊栏目：8

分类号：TN389(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金59775044

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：87-91