振动式微机械陀螺的电学模拟

摘要：

根据振动式微机械陀螺的动力学模型导出其等效的电学模型,并利用电路模拟工具对其进行了模拟.利用电路模拟结果,分析了陀螺的运动特性.利用这个电学模型,可以与接口电路混合模拟,优化检测电路的设计.

关键词：微机械陀螺、等效电学模型、模拟

所属期刊栏目：8

分类号：TN389(半导体技术)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G1999033101

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：59-62