柔性衬底铝掺杂氧化锌透明导电膜的特性研究

摘要：

室温下采用射频磁控溅射法在有机薄膜-聚丙烯己二酯(polypropyleneadipate,PPA)衬底上制备出了ZnO:Al(AZO)透明导电膜.其它制备参数保持不变的条件下通过改变淀积时间得到厚度不同的薄膜,并对不同厚度AZO薄膜的结构特性、光学特性和电学特性进行了研究.

关键词：透明导电膜、AZO薄膜、柔性衬底

所属期刊栏目：8

分类号：TN304.2+1;TN304.055(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金69876025

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：8-12