砷化镓阈值电压自动测试系统的研制

摘要：

介绍了砷化镓阈值电压的测试原理和测试方法 , 并完成了Φ 3“砷化镓阈值电压自动测试系统的设计与研制 . 该系统包括自动探针台、测量设备和相应的软件 . 自动探针台的定位精度为 10μ m, 分辨率为 2.4μ m, 速度为 251mm/s. 阈值电压测量精度为 1mV. 该系统可进行Φ 3“砷化镓圆片的 MESFET器件参数的自动测量、存储和运算 , 能给出圆片的阈值电压分布图 . 该系统还可用于大圆片的电阻率、欧姆接触电阻、背栅电压和光敏特性等的测量 .

关键词：GaAs、阈值电压、均匀性

所属期刊栏目：7

分类号：TN307(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金69676003

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：418-422