YBCO外延薄膜的 afterglow plasma溅射生长

摘要：

Y1Ba2Cu3O7-δ (YBCO)高温超导薄膜溅射生长所遇到的主要问题是负氧离子的反溅射效应 . 采用 afterglow plasma溅射生长 YBCO薄膜,有效地抑制了负氧离子的反溅射效应,从而生长出了超导性质优异的YBCO单晶薄膜,薄膜的临界电流密度JC(77K,0T)=7.6×106A/cm2,薄膜的微波表面电阻Rs(77K,10GHz)=206 μΩ,薄膜(005)峰摇摆曲线半高宽(FWHM)为0.120.

关键词：溅射、薄膜、YBCO、高温超导

所属期刊栏目：7

分类号：O484.1;TM26;O511(固体物理学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：389-392