Bi2Ti2O7薄膜制备及 Bi2Ti2O7绝缘栅场效应管研制

摘要：

采用化学溶液沉积法，以硝酸铋和钛酸四丁酯为原料成功地制备了 Bi2Ti2O7介质膜。制膜过
程简单，成本低廉，得到的薄膜具有良好的绝缘性和较高的介电常数，用其制备的绝缘栅场效应管
与相同尺寸的 SiO2绝缘栅场效应管相比，具有较高的跨导和较低的开启电压。

关键词：化学溶液沉积法、Bi2Ti2O7薄膜、介电常数、绝缘栅场效应管

所属期刊栏目：7

分类号：O738;O782+.1(晶体物理)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：171-174