热驱动薄膜式微型泵的效率研究

摘要：

微型泵在生物化学分析、药物输送和芯片冷却等领域有广阔的应用前景。为了确定热驱动薄
膜式微泵达到最大工作效率的工作条件，对泵的温度响应和振动响应进行数值模拟，分别得到五种
加热功率下微泵的流率－频率曲线，效率－频率曲线以及微泵的最佳效率曲线。发现微泵的流率在
4～ 5Hz达到最大，当加热功率大于 2W时，微泵的流量不再显著增加；微泵在加热功率为 1W时的效
率最大，最佳工作条件是加热功率 1W、加热频率 5Hz，此时微泵的效率为 32.54μ l/min· W。

关键词：微型泵、效率、优化、模拟

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分类号：TN389(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金59995550－ 2

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：121-124