Zn2SnO4－LiZnVO4系厚膜湿敏元件的制备和性能研究

摘要：

采用溶胶凝胶法制备Zn2SnO4－LiZnVO4系陶瓷纳米粉体，用平面丝网印刷工艺在氧化铝基片上制备厚膜湿敏元件。与普通陶瓷粉体制备的元件相比，该元件低湿电阻小，长期稳定性较好。测量不同工作频率时的湿敏特性表明，元件在1kHz频率范围感湿线性最佳。复阻抗分析表明，采用溶胶凝胶法制备纳米粉体并控制烧结温度，可获得良好的微结构，是改善元件感湿特性的原因。

关键词：溶胶凝胶法、厚膜、湿敏元件、复阻抗分析

所属期刊栏目：7

分类号：TN304(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：41-44