使用聚酰亚胺通过两次刻蚀制备微马达线圈

摘要：

采用感光性聚酰亚胺和高粘附性聚酰亚胺双层刻蚀技术,在基片上制备了微马达线圈的定子绕组.该工艺不仅工艺简单,而且保留聚酰亚胺作为线圈的绝缘层,提高了微马达线圈的绝缘性能和耐热性能,使微马达的整体性能得到了提高.

关键词：微马达、聚酰亚胺、无电解电镀、线圈绕组

所属期刊栏目：6

分类号：TN389(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：111-114