RAINBOW压电驱动器的制备及性能

摘要：

RAINBOW压电驱动器是一种具有超大位移量和一定负载能力的新型压电驱动器.研究了基于铌锌锆钛酸铅压电陶瓷的RAINBOW器件,对其制备工艺进行了研究和探索,确定了合理的工艺参数和制备方法,成功地制备了拱形结构的RAINBOW器件;研究了该器件的压电、位移、谐振以及铁电性能,根据实验结果认为制备得到的RAINBOW器件,具有良好的位移性能,未极化的RAINBOW器件对于正负电场的响应(极化、位移)存在不对称现象.

关键词：RAINBOW、驱动器、还原、位移特性

所属期刊栏目：6

分类号：TN384(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：71-79