热驱动微型泵的实验研究

摘要：

本文对热驱动微型泵在空载和有负载(即泵送液体)情况下的性能进行了实验研究.空载情况下,在所测频率范围内,膜片的振幅随频率减小,但泵腔的体积变化率随频率基本不变;随着加热功率的增加,膜片平衡位置逐渐远离其静止位置,当功率足够大时,膜片平衡位置的变化将减缓,振幅变化也将减缓.实验测定了有负载情况下泵的频率特性,对应于最大流量的频率为3Hz;实测了流量随加热功率的变化,当功率较小时,流量缓慢变化,当功率较大时,流量迅速增大.

关键词：微型机械、微型泵、传热、流动

所属期刊栏目：6

分类号：TN389(半导体技术)

资助基金：中国科学院资助项目59995550-2

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：65-70