集成微光机电系统研究现况及其产业化前景

摘要：

本文介绍了国际集成微光机电系统的研究现况及其产业化前景;在此基础上,提出了对我国加快这一领域的研究和产业化的看法.

关键词：集成微光机电系统、微电子机械系统、微系统

所属期刊栏目：6

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1-6