石英晶振微天平湿度传感器响应特性研究

摘要：

石英晶振微天平传感器是传感器研究的一个热点,文中介绍了自行研制的一种以SPPESK为敏感元件的石英晶振湿度传感器,利用差频法测量了传感器的静态稳定性、重复性和线性度、灵敏度和动态响应.结果表明:该传感器具有良好的定动态响应特性,能够用于实际气体湿度的检测.

关键词：石英晶振传感器、差频测量、响应特性

所属期刊栏目：11

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2006-08-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：5-6,23