电子束偏转扫描线圈的设计与仿真

摘要：

为解决电子束偏转磁场中的弱枕形畸变问题,基于余弦绕制法则,提出了改进的分布式等效余弦结构绕组.介绍了光栅畸变,采用COMSOL软件建立了分布式等效余弦结构绕组的几何模型和有限元分析模型,并对其进行数值模拟分析;分析了不同边张角的偏转磁场的分布,对比了不同半径的线圈改进前以及改进后的磁场分布,证实分布式等效余弦结构绕组的有效性,并最终确定了偏转扫描线圈的边张角和半径.

关键词：电子束、分布式等效余弦结构绕组、偏转扫描线圈、边张角

所属期刊栏目：42

分类号：V261.6+2(航空制造工艺)

在线出版日期：2023-04-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：486-492