ITO薄膜的制备方法与应用

摘要：

ITO薄膜具有优越的光电性能,在高科技领域中有着重要的用途,如液晶显示、太阳能电池等.磁控溅射法、化学气相沉积(CVD)法、喷雾热分解法、溶胶-凝胶法是目前制备ITO薄膜常用的方法.水热法制备薄膜是近年来发展起来的一种很有潜力的液相制膜技术,具有成膜大面积化、成本低且易于产业化等优点,该法的应用将极大地推动国内制膜技术的发展.

关键词：ITO薄膜、制备方法、应用

所属期刊栏目：24

分类号：TN304.055(半导体技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2003AA32X140

在线出版日期：2005-01-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：54-57