铁电存储器及研究进展

摘要：

铁电薄膜与半导体集成技术相结合而发展起来的铁电存储器,以其高密度、高速度、非挥发性以及抗辐射性而大大优于目前任何一种半导体存储器.本文介绍了铁电存储器的存储原理、特点、基本结构、研究进展、应用及存在的问题等.

关键词：铁电薄膜、铁电存储器FRAM、FFET、FDM、FDRAM

所属期刊栏目：20

分类号：O48(固体物理学)

资助基金：国家科技预研项目30.2.5.1

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：37-40