基于氧化钌微电极的MEMS微型超级电容器的设计与制作

摘要：

基于感应耦合等离子刻蚀等工艺设计制作了一种具有双腔室结构的微型氧化钌超级电容器,在其腔室微结构中基于电化学沉积方法制备了氧化钌微电极功能薄膜.直流充放电测试结果表明,该微型超级电容器的比容量达到0.012F·cm-2,储能密度达到0.006J·cm-2.进行了氧化钌/碳纳米管复合功能,薄膜微电极的性能研究,阻抗谱测试与伏安测试曲线表明,与氧化钌微电极功能薄膜相比,氧化钌/碳纳米管复合功能薄膜阻抗显著降低,容量明显提高,基于该复合功能薄膜的微型超级电容器的储能密度等关键性能指标可得到显著提高.

关键词：微电子机械系统(MEMS)、微型超级电容器、RuO2、碳纳米管、复合功能薄膜

所属期刊栏目：22

分类号：TQ1;TB3

资助基金：国家自然科学基金50905096

在线出版日期：2012-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：436-440