基于模糊理论的半导体制造系统时变多目标生产调度研究

摘要：

针对半导体晶圆制造系统(SWFS)调度中的多目标优化和目标时变性问题,提出了一种时变多目标(TVMO)调度算法.基于模糊理论研究了时变模糊集合与多目标重要程度的复杂非线性量化关系,进而研究了SWDS的优化调度方法.所提出的方法兼顾最大产品交期率、最大生产移动量和瓶颈机台最大产能利用率三个目标,根据时变目标权重计算出在制品的加工优先权序列号.大量的仿真实验数据证明,该调度算法能够改善系统多个绩效目标,可为大规模复杂重入型制造系统的科学生产控制与调度提供有效支持.

关键词：半导体晶圆制造系统(SWFS)、时变多目标(TVMO)、生产计划与调度、模糊控制

所属期刊栏目：18

分类号：TP2;TP3

资助基金：国家自然科学基金50475027;863计划2006AA04Z128;博十点基金20040248052

在线出版日期：2008-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：732-737