基于压电扫描管动态特性分析的AFM成像方法研究

摘要：

针对原子力显微镜(AFM)在高速扫描下成像误差大的缺点,提出了一种基于压电扫描管动态特性的改进成像方法,并对这种成像方法的性能进行了理论分析和实验验证.分析和实验结果表明,该成像方法可以较好地处理压电扫描管的动态特性,有效地提高 AFM 在 Z 方向上的成像精度,因此得到的扫描图像能够更加真实地反映样品的形貌.

关键词：原子力显微镜、成像技术、压电扫描管、动态特性

所属期刊栏目：18

分类号：TB85(摄影技术)

资助基金：国家自然科学基金60574027;天津市应用基础研究项目07JCYBJC05400;教育部跨世纪优秀人才培养计划NCET-06-021

在线出版日期：2008-05-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：54-58