基于单模光纤的微操作机器人系统标定方法

摘要：

提出了用牛顿环中心位置标定微操作机器人坐标系的新方法.将单模光纤输出的准球面波与平面波干涉产生牛顿环,根据牛顿环在二维标尺上的位置确定光纤输出端的二维坐标.与平面波垂直的另一路平面波与准球面波干涉以确定光纤输出端的第三维坐标.将光纤夹持在被标定部件上,分别标定各部件的机械轴所确定的坐标系与标尺坐标系的变换矩阵后,由矩阵运算得到各坐标系之间的关系.测量精度为亚微米量级.标定时,图像质量不受显微物镜景深的限制.

关键词：微操作机器人、标定、单模光纤、牛顿环、二维标尺

所属期刊栏目：17

分类号：TP2(自动化技术及设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA422200;国家自然科学基金60475038;59875066

在线出版日期：2007-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：389-394