基于纳米运动平台的原子力显微镜开发

摘要：

采用一种无耦合、三轴精确定位的纳米运动平台作为扫描器,研制了一种新型原子力显微镜(AFM).该AFM有效消除了通常使用的单管式压电陶瓷扫描器扫描过程中运动耦合产生的两种结构误差--交叉耦合误差和扫描范围误差,极大提高了纳米测量及操作的精度.

关键词：原子力显微镜、运动耦合、纳米运动平台、AFM力曲线

所属期刊栏目：17

分类号：TN87(无线电设备、电信设备)

资助基金：国家自然科学基金60575060;辽宁省优秀青年科技人才基金3050002

在线出版日期：2007-04-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：268-273