基于面向服务架构的分布式开放控制系统

摘要：

提出了一种基于面向服务架构(SOA)的分布式开放控制系统模型.整个参考模型由设备抽象层、基本控制模块层、服务层和应用层四层组成.各层内部采用面向对象的方法进行设计,各层相对独立,层间的耦合性比较小.服务层包含了所有分布式子系统的服务抽象和封装,以服务的方式供应用层使用.这种控制系统模型,开放性好,各个模块的可重用性强,开发效率高.使用这种框架,成功开发了IC工艺装备中的刻蚀机硅片传输原型系统,而且取得了很好的效果.

关键词：面向服务、IC、刻蚀、面向服务架构、控制系统、开放式系统

所属期刊栏目：17

分类号：TP3(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2003AA4Z5000

在线出版日期：2007-03-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-5