面向微装配的压电陶瓷微夹钳建模与控制

摘要：

建立了悬臂梁位移与外电场和外力之间的动静态模型以及压电陶瓷迟滞环的Backlash算子模型.以所建立的迟滞模型为前馈环节与PID反馈构成复合控制对悬臂梁进行位置控制.现场测试数据验证了该模型的正确性和复合控制方法的可行性,并分别用逆控制、PID控制以及复合控制方法进行了正弦曲线跟踪实验,这些控制方法的比较结果表明,复合控制策略具有最高的控制精度.

关键词：压电陶瓷、微夹钳、动静态模型、迟滞模型、复合控制

所属期刊栏目：16

分类号：TP2(自动化技术及设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2005AA844120;国家自然科学基金60275013

在线出版日期：2006-12-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1134-1138