MEMS集成应用的纳米结构PZT厚膜形成工艺研究

摘要：

提出了制备PZT厚膜的一种新的旋转涂覆方法.采用0-3复合法将PZT溶胶与PZT纳米粉混合形成浆料,并与PZT溶胶交替涂覆在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上,使PZT厚度达2μm,并且使PZT表面质量得到了改善.利用XRD和SEM对PZT厚膜的组织和结构进行了表征.得到的薄膜无裂纹,结晶和表面平整度良好,可用于MEMS中微型传感器和微型驱动器的制作.

关键词：nano-PZT、厚膜、MEMS

所属期刊栏目：16

分类号：TN91

资助基金：高比容电子铝箔的研究开发与应用项目2002AA305509;海军科技攻关计划401050301;黑龙江省科技计划GB02A302

在线出版日期：2006-08-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：606-609