MEMS版图自动生成与工艺匹配系统研究

摘要：

根据MEMS工艺设计的特点提出了反馈式专家系统运作方式,并据此给出了MEMS版图自动生成与工艺匹配系统的体系结构.同虚拟MEMS加工工艺相比,该系统可实现工艺流水的逆向推理流程,由此,进一步给出了系统逆向推理所需的专家规则描述方式和推理机实现方法,并实现了一个原型系统,该系统可实现由两种标准MEMS工艺制作器件的版图自动生成与工艺匹配工作,初步验证了系统的可行性.

关键词：MEMS、专家系统、版图自动生成、工艺匹配

所属期刊栏目：16

分类号：TP2(自动化技术及设备)

资助基金：国家科技攻关项目2002AA404030;中国科学院资助项目60475038,60173061;天津市科委科研项目

在线出版日期：2006-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：479-484