基于MEMS技术的微型模具制作工艺研究

摘要：

针对微型模具的结构和精度要求,在研究硅模具和背板生长两种工艺路线的基础上,提出了无背板生长工艺路线,并介绍了工艺路线中所涉及的三种MEMS加工方法,即UV-LIGA技术中的光刻、微电铸以及硅MEMS加工技术中的湿法刻蚀.实验结果表明,硅模具和背板生长模具呈54.74°的斜面,且硅模具容易损坏,背板生长模具受应力影响易产生变形;而无背板生长工艺能够获得侧壁垂直、表面细致、使用寿命长的模具,满足结构和精度要求.

关键词：微型模具、MEMS、UV-LIGA、光刻、微电铸、湿法刻蚀

所属期刊栏目：16

分类号：TG7(刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具)

资助基金：国家科技攻关项目2004AA404260

在线出版日期：2006-05-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：368-371