MEMS器件虚拟运行中运动规律求解器的设计与实现

摘要：

针对虚拟运行(在器件动态模型的基础上对MEMS器件运动性能进行评测的设计工具,其作用在于建立MEMS设计参数与器件运行之间的直接联系)中运动规律的联立、求解和实时仿真等问题,分析了几种典型MEMS器件的动态模型,提出了运动规律求解器的设计原理和体系结构,其中包括三项关键技术:物理运动规律在部件库系统中的形式化表示,物理问题自动求解的推理算法,以及离线编译的优化技术.最后,设计和实现了运动规律求解器原型系统,并在该系统中测试了微泵的虚拟运行,达到了通过修改阀片设计参数和膜片驱动参数实时观察虚拟运行中状态相应变化的目标,即在微泵的设计参数与其运行之间建立了直接的关联关系.

关键词：微电子机械系统(MEMS)、虚拟运行、运动规律、自动求解、编译

所属期刊栏目：15

分类号：TP2(自动化技术及设备)

资助基金：新材料领域项目2002AA422200;2002AA404030;国家重点基础研究发展计划973计划G1999033109;中国科学院资助项目60475038;60173061;教育部高校骨干教师资助计划;Tianjin Natural Sci. Found

在线出版日期：2006-03-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：24-29