虚拟MEMS加工工艺建模、实现与系统验证

摘要：

利用虚拟现实技术对MEMS加工工艺进行仿真,并将其引入设计环节,最终可以解决MEMS生产中设计与加工脱节的问题.MEMS加工工艺的核心是工艺模型.首先,在深入分析单步MEMS加工工艺的基础上给出了规则描述的工艺模型,其次,利用专家系统技术实现了系统.进一步用一种全新的器件微流量泵的工艺设计和虚拟加工过程验证了系统的可扩充性.

关键词：微机电系统、工艺模型、专家系统、虚拟现实

所属期刊栏目：15

分类号：TP3;TP1

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA422200,2002AA404030;国家重点基础研究发展计划973计划G1999033109;国家自然科学基金69985006,60173061;教育部高校骨干教师资助计划;天津市自然科学基金

在线出版日期：2005-03-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：27-31