偏置电压极性对力反馈电容式微加速度计特性的影响分析

摘要：

对电容式加速度计,为测量其电容的变化,通常需要带直流偏置的交流电压信号来驱动.驱动信号产生的静电力有时会干扰器件的测量和正常工作.文章中定量分析了带有电压反馈的双边驱动信号对器件特性的影响.对于这种驱动方式,正-负和正-正的直流电压偏置可以改善器件的测量线性度,基本消除由驱动信号导致的吸合效应,而负-负和负-正的直流电压偏置会使驱动信号引起的吸合效应增大,从而大大缩小了器件的安全工作范围.

关键词：电容式加速度计、电压反馈、偏置电压极性

所属期刊栏目：14

分类号：TL9;TN9

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA715121,2002AA404410

在线出版日期：2005-01-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：67-72