虚拟MEMS加工工艺的定义、关键技术与实现框架

摘要：

首先提出了虚拟MEMS加工工艺的概念,它是利用图形动态生长,来模拟每步工艺过程,整个工艺过程中形状变化均包含在虚拟工艺中.其次,分析了实现虚拟工艺所涉及的关键技术:工艺描述、工艺模型和加工过程的可视化.第三,给出了基于专家系统技术的虚拟工艺实现框架.最后,实现了一种表面硅工艺的例子,初步验证了实现框架时间和精确度的可行性.

关键词：微电子机械系统(MEMS)、加工工艺、虚拟现实、专家系统

所属期刊栏目：14

分类号：TP3;TP1

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA422200,2002AA404030;国家重点基础研究发展计划973计划G1999033109;国家自然科学基金29985006,60173061

在线出版日期：2004-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：65-69