大行程高精度宏/微双重驱动机器人系统的研究

摘要：

研究了具有宏/微双重驱动定位工作台的控制技术.该工作台采用直线电机进行大行程位移驱动,来保证较大的工作行程和较快的响应速度,采用压电陶瓷微位移器完成精密位移驱动,利用光栅尺实现闭环位移反馈,可以实现100mm的工作行程,10nm的重复定位精度.

关键词：宏/微机器人系统、直线电机、PZT驱动、光栅

所属期刊栏目：14

分类号：TP2;TG5

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2001AA423110

在线出版日期：2004-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：50-52