一种新型的微机械可变式光衰减器

摘要：

介绍了一种新型的连续可变式微机械单模光衰减器的设计与制作.该光衰减器采用电磁型微驱动器驱动一个铁镍合金衰减片,使其插入两根准直的单模光纤的间隙中,依靠精密地调节衰减片切入光路中的位置而实现对传输光功率的连续衰减.采用硅微细加工技术成功地制作出了这种光衰减器,并对微驱动器的性能进行了理论分析.测试结果表明,当传输的光波长为1550nm时,该衰减器的平均插入损耗为2.5dB,衰减范围为2.5～45dB,回波损耗为40dB.

关键词：微电子机械系统、微机械、光衰减器、电磁微驱动器、平面线圈

所属期刊栏目：13

分类号：TN715(基本电子电路)

资助基金：上海市科技发展基金995614003

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：52-55,51