MWPCVD制备金刚石膜装置的大功率稳定运行的研究

摘要：

介绍了水冷反应室式MWPCVD制备金刚石膜装置的结构和工作原理,着重讨论了该装置长时间大功率稳定运行的措施.该装置在微波输入功率为3.0kW时能长时间稳定运行.用该装置成功地在硅衬底上沉积出金刚石膜.

关键词：MWPCVD装置、稳定运行、微波功率、金刚石膜

所属期刊栏目：11

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划863-715-002-0020

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：88-90