基于主动空气轴承作动器的模糊主动振动控制研究

摘要：

提出基于主动空气轴承作动器的溜板模糊主动振动控制。在溜板的空气静压支承基础上，以主动空气轴承为作动器，采用模糊控制方法，实现运动中的溜板振动主动控制。在自制的空气静压导轨上用电磁激振器模拟干扰力进行振动控制实验，取得良好效果。

关键词：超精密加工、溜板、主动空气轴承作动器、模糊控制、振动 主动控制

所属期刊栏目：11

分类号：TH(机械、仪表工业)

资助基金：国家自然科学基金59835180

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：73-74,72