MOCVD热力学分析软件的开发

摘要：

报导了最新开发的MOCVD热力学分析软件--MOCVDTA,它是一个采用目前比较先进的VCS算法对MOCVD的稳态系统进行单参数及双参数模拟分析的软件.介绍了其功能、特点、使用方法以及适用条件,并且以As-H系统及Ga-As-CH系统为例进行了模拟,得到了很好的模拟结果.

关键词：MOCVD、热力学

所属期刊栏目：10

分类号：TP3(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金69587004

在线出版日期：2007-03-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：62-65