氮原子在CVD低压金刚石制备过程中的作用

摘要：

根据理论计算得到了碳氢氮体系低压金刚石生长非平衡定态相图,结果与实验数据相当符合,并通过相图和热力学计算讨论了氮原子含量对金刚石生长条件的影响以及在CVD金刚石制备过程中提高金刚石薄膜生长速率的原因.

关键词：氮、化学气相淀积、金刚石

所属期刊栏目：8

分类号：O6(化学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：36-39