滤光片对三角位移传感器测量误差的影响

摘要：

为了提高激光位移传感器接收系统的信噪比,往往在CCD或PSD接收器前加滤光片.但是,滤光片对接收光线的折射作用将引起测量误差,而且该误差是非线性的,对于高精度位移传感器来说,这个误差是不可忽略的.设计了一种补偿方法,实验表明该方法可行.

关键词：平行平板、非线性补偿

所属期刊栏目：28

分类号：TN253(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2012-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：89-91