光谱共焦位移传感器测量透明材料厚度的应用

摘要：

介绍了光谱共焦位移传感器的结构与原理,及其在测量厚度方面的应用,重点讨论了光谱共焦位移传感器用于测量透明材料平行平板厚度的可行性,对其产生的误差进行了详细的分析,并给出了相应的补偿方法.

关键词：光谱共焦、位移传感器、色散系数

所属期刊栏目：28

分类号：TP212.12(自动化技术及设备)

在线出版日期：2012-01-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：50-53