极紫外多层膜光栅技术研究进展

摘要：

极紫外多层膜光栅是一种人造二维周期性结构,它将横向结构上的光栅衍射与深度结构上的多层膜布拉格衍射相结合,使得在极紫外波段采用非掠入射、高衍射效率、高光谱分辨率的分光元件成为可能,在天文学、物理学、材料科学等领域具有广阔的应用前景.介绍了极紫外多层膜光栅的应用；从光栅衬底制备与多层膜沉积两方面对多层膜光栅制备技术的研究进展进行了分析；并从实际应用角度出发,对未来多层膜光栅技术研究的发展趋势作了展望.

关键词：极紫外、多层膜光栅、衍射效率、宽带多层膜

所属期刊栏目：28

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金60678034

在线出版日期：2012-01-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：5-11