AlN薄膜的热应力模拟计算

摘要：

本文通过ANSYS有限元分析软件对薄膜的热应力进行了模拟计算,并通过理论计算验证了其合理性.模拟出了薄膜应力值及分布情况,分析了薄膜沉积温度与薄膜厚度对薄膜度应力的影响.从模拟的结果可以看出,薄膜上表面X方向应力主要集中在薄膜中心,边缘应力较小,但边缘的形变较大;薄膜的热应力随着薄膜沉积温度的升高而增大,随着膜厚的增加而减小.

关键词：热应力、AlN薄膜、有限元

所属期刊栏目：28

分类号：O484.4(固体物理学)

在线出版日期：2011-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：10-14