面阵CCD拼接仪结构设计

摘要：

本文设计了一种CCD拼接仪.拼接仪采用大理石做工作平台,二维工作台和升降台采用滚珠直线导轨做导向.进给传动采用滚珠丝杠、长工作距显微物镜进行对准和检测.滚珠直线导轨导向精度2",正交性2".滚珠丝杠进给分辨率1 μm.经实际使用,所设计的结构满足仪器的性能要求.

关键词：面阵CCD、拼接仪、光学拼接

所属期刊栏目：27

分类号：TN386.5(半导体技术)

在线出版日期：2011-03-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：32-35