激光位移传感器在物体表面形状测量中的应用

摘要：

激光位移传感器对位移的测量不仅是非接触式的测量方式,而且具有较高的精度,具有广泛的应用.本文研究了一种利用激光位移传感器测量工件上点的二维坐标,从而实现物体形状的高精度测量.通过一维电位移平台带动激光位移传感器扫描物体的表面,然后对测量的数据进行处理,进而得到物体的表面形貌.实验中采用的位移传感器分辨率为0.3μm,一维电位移平台重复定位精度高于2μm.

关键词：形状测量、激光位移传感器

所属期刊栏目：27

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

资助基金：文化部科技创新项目27-2009;20080339

在线出版日期：2010-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：70-72