极紫外光刻投影光学系统的研究

摘要：

本文探讨了一种可应用于极紫外光刻光学系统的离轴五反射镜系统,它在光学质量、自由工作距离方面满足了极紫外光刻商业化的要求.在此基础上,文章对精密非球面加工和计算机辅助光学装校也进行了探讨.

关键词：极紫外、投影光学系统、先刻

所属期刊栏目：26

分类号：TH703(仪器、仪表)

在线出版日期：2009-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：35-38