LCD黑矩阵的激光制造技术

摘要：

本文提出了一种新型的LCD黑矩阵激光制造技术,设计了以高功率Q开关半导体泵浦的Nd:YAG固体激光器为主体的激光系统,采用激光背照射喷水辅助的方法制作了黑矩阵样品,有效解决了图形精度和残留物的问题.激光技术与现有的光刻技术相比具有多方面的优越性,很有可能成为现有光刻工艺的取代者.

机标关键词：固体激光器、半导体泵浦、yag固体激光、激光技术、高功率、光刻工艺、残留物、图形精度、光刻技术、激光系统

所属期刊栏目：25

分类号：TN248.1;R312;TN405

在线出版日期：2008-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：16-21