微加工技术之现状

摘要：

@@ 1 引言
微型化是制造业未来10年发展面临的挑战和动力.
人类社会的进步,特别是人们对于日用消费新产品的需求,促使精密光机电技术迅猛发展.现有的技术虽部分已经老化,但仍然是改进和革新产品的基础技术.

机标关键词：微加工技术

所属期刊栏目：25

分类号：TG665

在线出版日期：2008-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：38-42