激光调阻预置式变速光刻控制

摘要：

全自动激光调阻机是各种薄、厚膜片式电阻的工业化专用生产设备,提高调阻性能是提升设备生产力,降低生产成本,节能增效的主要途径.因此,在原系统基础上对激光调阻中光束定向控制系统进行改进设计,以先验知识为基础,构造预置、简单变速、实时变速等光刻控制模型,得到预置式变速光刻控制方法.它能根据不同的精度、速度要求和片阻初值偏差进行优化决策,实现在激光粗调电阻时,采用快速光刻;在激光精调电阻时,采用慢速光刻.这样不仅动态改变了片阻的光刻阻值变化率,提高了调阻精度,而且缩短了粗调光刻时间,提高了调阻速度,从整体上提高了激光调阻性能.

关键词：激光调阻、预置式控制、变速控制、调阻速度、调阻精度

所属期刊栏目：24

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划（863计划）;长春市科技攻关计划

在线出版日期：2007-04-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：21-25